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蒸着【ジョウチャク】

デジタル大辞泉

じょう‐ちゃく【蒸着】
[名](スル)真空中で金属などを加熱・蒸発させ、その蒸気を他の物質表面に薄い膜として付着させること。真空蒸着

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世界大百科事典 第2版

じょうちゃく【蒸着】

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大辞林 第三版

じょうちゃく【蒸着】

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日本大百科全書(ニッポニカ)

蒸着
じょうちゃく
物質を高温にして蒸発させ、この蒸気を当てて物質を薄膜状につける方法をいう。これは一般に真空中で行うことが多い。これを真空蒸着という。蒸発させる材料をタングステンのフィラメントにのせ、近くに蒸着させる基板を置く。フィラメントに電流を流して加熱して材料を蒸発させると、基板には材料の薄膜ができる。材料の蒸発には、電子ビーム照射、高周波誘導加熱あるいは放電加熱などの方法も用いられる。蒸着は金属の薄膜の生成に有用で、半導体素子における導体や抵抗体薄膜、磁気記録用のテープ、ディスクの金属磁性薄膜の製造などに用いられている。[本間基文]

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精選版 日本国語大辞典

じょう‐ちゃく【蒸着】
〘名〙 蒸発させて付けること。特に、金属被膜を真空蒸着によって作ることをいう。
※生物と無生物の間(1956)〈川喜多愛郎〉三「前記の金属蒸着を行えば」

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

蒸着
じょうちゃく
真空蒸着」のページをご覧ください

出典:ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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