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極紫外線【キョクシガイセン】

デジタル大辞泉

きょく‐しがいせん〔‐シグワイセン〕【極紫外線】
波長1~10ナノメートル程度の紫外線。波長が短い領域はX線に分類されることもある。短い波長を活かし、半導体の超微細加工を実現する露光技術の研究が進められている。極端紫外線。extreme ultravioletから、EUVまたはXUVともいう。→近紫外線遠紫外線

出典:小学館
監修:松村明
編集委員:池上秋彦、金田弘、杉崎一雄、鈴木丹士郎、中嶋尚、林巨樹、飛田良文
編集協力:田中牧郎、曽根脩
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