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クリーンルーム【くりーんるーむ】

デジタル大辞泉

クリーン‐ルーム(clean room)
壁面や空気中に存在するちりの数や量を少なくするように管理してある部屋。高精密を要する部品・IC加工などに利用される。防塵(ぼうじん)室。無塵室

出典:小学館
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レーシック関連用語集

クリーンルーム
高性能フィルターで除塵除菌のされた部屋のことで、多くの医院ではクリーンルームで手術を行っています。 

出典:レーシックNET
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世界大百科事典 第2版

くりーんるーむ【クリーンルーム】

出典:株式会社平凡社
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大辞林 第三版

クリーンルーム【clean room】
極めて高度な防塵設備を施した部屋。半導体の製造工場などでいう。無塵室。
通常よりも化学物質の濃度を抑えた部屋。

出典:三省堂
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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

クリーンルーム
clean room
フィルタなどを使って空気中の微小な塵埃粒子を除去した特殊な建物で,半導体集積回路の製造に不可欠な設備。半導体集積回路を製造する場合,空気中に浮遊している塵埃 (じんあい) 粒子が半導体ウェハーに付着すると欠陥発生などの障害を生じるから,大きさ1μm以下の微小粒子に至るまでこれを除去しておかねばならない。また集積回路の製造では純水・各種ガス・化学薬品などを使用し,これらの円滑な供給と品質純度を系統管理する必要がある。有害な廃棄物 (廃ガス廃液) も生じるので,その対処も欠かせない。クリーンルーム内部は外界とは遮断された環境となっており,フィルタでろ過した清浄な空気 (塵埃密度 100個/m3以下) が供給される (通常の室内は塵埃密度 100万個/m3以上) 。クリーンルーム内の作業者は,身体や衣服から塵埃が出ることを防止するために無塵服を着用する。温度と湿度は一定に保たれており,純水・ガス・化学薬品・液体窒素などは配管によってクリーンルーム内の随所に配給される。廃ガス・廃液などを浄化する処理設備や,非常時の自家発電装置も備えられている。

出典:ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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